真空用步進電機 ●無需真空導入裝置，可直接放入真空環境中使用的步進的電機 ●可輕松實現在真空環境下開環系統中的高精度控制 ●提供能在低真空到超高真空的各種壓力環境中使用的客制品 ●能適應 200℃的高溫環境 ●與常用的步進電機尺寸大體相同大致相同 ●適用于半導體制造設備、人造衛星用機器人 ●適用于電子顯微鏡、加速器、光輻射分析儀等實驗室設備
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